RMS
芯享产品介绍

针对于半导体后道Wire Bond设备RMS系统高度化的产品。
设备启动前有任何人为修改参数及坐标时比较确认,比较
对象是工程师已维护好的参数范围及Golden Recipe,
最大限度的提高实际设备上Recipe的准确度和改善Golden Recipe。
主要功能服务
配方基础信息:产品/工艺/设备配方信息登录;
配方信息采集:设备配方数据变更、配方参数变更、作业前配方信息采集;
配方验证:进行前配方 ID 验证、进行中的配方参数验证。
产品及方案特点
特点 | 说明 |
SOA 架构 | ▶ 优化于工厂自动化应用的轻量级架构 ▶ 符合国际标准 |
IT 技术 | ▶ 实时数据响应 ▶ 通过 HTTP, Telnet 的远程控制 |
整合性 | ▶ 基于工厂自动化平台,易于整合 |
1.防止人工错误;
2.节省换线时间。
应用场景
1.设备需要对recipe实现自动化管理时;
2.新产品进入或产品换线时实现recipe自动上传下载。
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