研磨头货柜
芯享产品介绍

用于半导体工厂中存放并精准定位研磨头,并实时显示、上报研磨头状态信息,解决产线人工查找研磨头费时费力且不准确问题,为生产管理者提供实时知晓研磨头状态及位置、提高研磨头的使用周转率。
主要功能服务
主要用途:1.用于存放研磨头,并实时监控和上报研磨头状态
2.实时显示研磨头状态信息(如:新、旧、是否需要保养等)
适用范围:适用于半导体晶圆厂实时追踪研磨头
产品及方案特点
1、展示各机台群组不同的head类型的实时数量
2、提供保养管理,报表管理,系统管理功能
3、实时监控和上报研磨头的新、旧、异常状态
4、可通过PDA绑定研磨头标签信息和货位信息
5、显示各个机台群组不同head类型的实时数量
6、权限隔离,可以对操作人员的权限进行权限设置
7、可通过API形式与MES,ERP,EAP等系统进行交互