主要用途及适用范围

主要用途:用于存放研磨头,实时监控研磨头的状态

适用范围:适用于半导体晶圆厂实时追踪研磨头状态


产品特点

本产品为研磨头立库,主要应用于半导体行业,旨在精准定位研磨头,实时显示 研磨头信息;解决产线人工查找研磨头费时费力且不准确的问题,为生产管理者提供研磨头的实时状态,提高研磨头的使用周转率,同时向上扩大存储空间,减少研磨头存放的占地面积。

原产品手册有图

 

工作原理

将装有研磨头的托盘放入进料口,搬运机构将其运输到指定位置,同时将信息 显示在工控屏幕上。

 

规格型号


产品系列

方舱

产品名称

方舱1号

型号

XX-L1-RFeStocker

软件版本

V1.1

硬件版本

V1.1

系统兼容

兼容EAP、MES、PMS等第三方系统 




在线留言
  • *公司名称

  • *姓名

  • *电话

  • *您的需求