产品功能 

1、Parameter 管理: 提供管理各设备型号以及设备参数的功能 

2、APC Model 管理: 提供提升产线工程师业务效率的标准化APC Model建模功能 

3、Formula 管理: 提供灵活的配置功能，使得Formula的建模和管理变得更加便捷 

4、APC 历史: 提供通过APC Model运算结果的查询功能 

5、APC 结果趋势: 提供APC参数运算结果的查询趋势功能 

6、参考 Lot 过滤: 提供查询无法作为参考Lot的过滤信息的功能 

7、系统信息管理：提供系统管理相关功能 

8、管理员功能管理：提供管理员相关功能 

产品特点 

1、结构化的APC模型

 • 提供标准化建模功能，无需考虑工艺，可直接管理R2R模型并应用 

 • 如nAPC无法提供最佳状态，则提供多种控制方法，确保工艺流程安全地进行 

2、 灵活的 Formula 结构

 • nAPC提供灵活的建模方案，以配置APC计算所需的各种Formula 

 • 可轻松连接建模的Formula组和R2R参数

 • 直观的Formula应用情况管理方案 

3. 简单便捷的参数管理 

 • 通过简单直观的参数管理模型，可以便捷地管理各种设备类型 

4. 提升管理及业务效率

 • 提供便利的管理方法，提升业务效率 

运用效果（产品效益） 

1. 工艺优化提良率

 • 提升良率，优化Litho、CMP等工艺,提高稳定性,并提高良率来增加产量 

2、管理降成本增效 

 • 减少管理成本提供对多种设备、产品、工程的APCModel和Data管理，减少物理、人力资源的使用 

3、自动化提高效率缩周期 

 • 通过优化生产工艺流程提高自动化水平，同时缩短生产周期，提高生产效率