方舟五号-星云生产自动化设备-无锡芯享信息科技有限公司

旨在精准定位光罩盒，实时显示光罩盒信息和关联wafer Lot信息。通过该系统，可以实时获取光罩盒的状态和位置信息，进行进出库管理，节约大量时间查找光罩盒，避免操作错误。

联系我们

主要用途及适用范围

主要用途:

1.用于存放光罩盒，并实时监控光罩盒状态

2.实时显示光罩盒关联wafer Lot信息

适用范围:适用于半导体晶圆厂实时追踪光罩盒状态

工作原理

光罩盒放入货位后，触发行程开关。芯享二号板检测到开关触发后，发送指令给建永模块，启动天线模组读取光罩盒上的卡片式标签。读取到的标签信息返回给芯享二号板，再次转发到光罩盒管理系统。光罩盒管理系统可查询每个货位信息，进行光罩盒出库操作。